E00600 - SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド StdPbc-1225 本文書は，自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り，その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には，以下の内容を提供する。

本文書は，自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り，その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には，以下の内容を提供する。

Utility systems are designed

SEMI E5-0200A (technical revision)

SEMI D63-0811 (first published)

3 Based on the result of investigation for human eye’s sensitivity to Mura in ergonomics approach

E00600 - SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド StdPbc-1225 本文書は，自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り，その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には，以下の内容を提供する。Global Facilities CommitteeNorth American Facilities Committee20021122North American Regional Standards Committee20031www. semi. org200331982199612 : 2002SEMI E6 Referenced SEMI Standards SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E52 Practice for Referencing Gases Used in Digital Mass Flow Controllers SEMI E63 Mechanical Specification for 300 mm Box Opener Loader to Tool Standard (BOLT)